Bezolejowa sprężarka powietrza do laboratoriów półprzewodników

Aby stworzyć niezawodne linie użyteczności publicznej dla precyzyjnych obiektów badawczych, należy skorzystać z chińskiej bezolejowej sprężarki powietrza dla dostawców z laboratoriów półprzewodników. Rozwiązania DECHUAN dotyczące powietrza o wysokiej czystości wykorzystują wielowarstwowe uszczelki izolujące węgiel, aby wyeliminować śladowe węglowodory, zapewniając nieskazitelną jakość gazu do krytycznego trawienia krzemu.

Krytyczne wymagania dotyczące czystości gazów w pomieszczeniach czystych

W produkcji półprzewodników i litografii cienkowarstwowej nawet pojedyncza mikroskopijna kropla pary oleju przenoszona przez przewód powietrzny może zniszczyć całą partię produkcyjną. Ten specjalistyczny produkt został zaprojektowany tak, aby spełniać absolutnie najwyższe standardy czystości:

• Certyfikat TÜV dla dostarczania powietrza klasy 0: Nasze systemy przechodzą rygorystyczne testy w zmiennych temperaturach roboczych. Niezależna analiza potwierdza całkowity brak śladów oleju w strumieniu powietrza wylotowego.

• Odporne na korozję wewnętrzne ścieżki powietrza: Każdy element rurociągu, wiązka chłodnicy i matryca separacyjna za komorą sprężania są wykonane z najwyższej jakości stali nierdzewnej, co zapobiega przedostawaniu się płatków rdzy do przewodów powietrza w pomieszczeniu czystym.

• Zaawansowana integracja Elektronikon®: Zintegrowany sterownik dokładnie śledzi parametry operacyjne i oferuje proaktywne wyłączenia bezpieczeństwa, aby mieć pewność, że żadne zanieczyszczone powietrze nigdy nie przedostanie się do siatki laboratoryjnej.

Wysokie koszty mikrozanieczyszczeń w elektronice

Podczas produkcji płytek półprzewodnikowych pojedyncza kropla aerozolu oleju może skazić całe środowisko pomieszczenia czystego, niszcząc tysiące płytek krzemowych i powodując miliony strat w czasie produkcji. Tradycyjne sprężarki powietrza nie mogą zagwarantować absolutnie zerowej czystości węglowodorów wymaganej w procesach w skali nanometrowej.

Specjalistyczny bezolejowy kompresor powietrza dla laboratoriów półprzewodników gwarantuje czyste bezpieczeństwo procesu:

• Certyfikowany przepływ powietrza KLASY 0: Ściśle testowany przez TÜV w ekstremalnych zakresach temperatur i ciśnień, aby zapewnić absolutnie zerową obecność oleju.

• Elementy wewnętrzne wolne od cząstek stałych: Chłodnice wstępne ze stali nierdzewnej i wymienniki ciepła z żebrami gwiazdowymi eliminują płatki utleniania lub wydzielanie substancji chemicznych w ścieżce powietrza.

• Elektroniczna osłona monitorująca: Proaktywne alarmy konserwacyjne i automatyczne wyłączanie usterek zapobiegają odchyleniom systemu, zanim dotrą one do narzędzi do pomieszczeń czystych.

Techniczne parametry czystości

• Moc znamionowa systemu: konfiguracje o dużej gęstości od 55 kW do 900 kW.

• Wydajność objętościowa: 4,2 - 148,5 m3/min czystego strumienia.

• Klasyfikacja zawartości oleju: ISO 8573-1, klasa 0, weryfikacja całkowitego braku oleju.

• Układ chłodzenia: Chłodzenie cieczą ze stali nierdzewnej zapobiegające odgazowaniu substancji chemicznych.

Warunki referencyjne wydajności urządzenia zostały zmierzone zgodnie z załącznikiem C, wydanie 4 (2009) normy ISO 1217:

· Wilgotność względna: 0%

· Bezwzględne ciśnienie wlotowe: 1 bar

· Temperatura na wlocie: 20°C Szybkość tłoczenia (FAD) mierzono przy następujących ciśnieniach roboczych:

Typ stałej prędkości:

·  Typ -7,5 bara: 7 barów

· Typ -8,6 bara: 7 barów

· Typ -10 bar: 9 bar

Typ VSD:

· Typ -8,6 bara: 7 barów

· Typ -10,4 bara: 9 barów

· (2) Poziom emisji ciśnienia akustycznego ważonego klasy A na stanowisku pracy (LpWSad). Mierzone zgodnie z normą ISO 2151:2004 (przy użyciu metody skanowania natężenia dźwięku 150 9614/2). Nowo dodany współczynnik korygujący jest wartością całkowicie niepewną (KpAd), zgodną z kodem testowym.

· (3) Waga ma wyłącznie charakter poglądowy; ważniejsza będzie rzeczywista dostarczona waga.

ZR/ZT 110-160 (FF) STD

Zgodnie z normą ISO 1217, załącznik C, wydanie 4 (2009), warunki odniesienia dotyczące wydajności jednostki są następujące:

· Wilgotność względna: 0%

· Bezwzględne ciśnienie wlotowe: 1 bar

· Temperatura na wlocie: 20°C

Przemieszczenie FAD mierzone jest przy następujących ciśnieniach roboczych:

Modele o stałej prędkości:

Modele -7,5 bara: 7 barów

Modele -8,6 bara: 7 barów

Modele -10 barów: 9 barów

Modele VSD:

Modele -8,6 bara: 7 barów

Modele -10,4 bara: 9 barów

(2) Ważony poziom ciśnienia akustycznego emisji klasy A na stanowisku pracy (LpWSAd). Mierzone zgodnie z normą ISO 2151:2004 (metoda skanowania natężenia dźwięku ISO 9614/2). Nowo dodany współczynnik korekcyjny KpAd jest niepewny i zgodny z kodem testowym.

(3) V1=380V, V2=400V.

(4) Waga ma charakter wyłącznie informacyjny; ważność rzeczywista ma pierwszeństwo.

ZR/ZT 200-275 (FF)

-Wilgotność względna: 0%

-Bezwzględne ciśnienie wlotowe: 1bar

-Temperatura na wlocie: 20°℃

Szybkość rozładowania (FAD) mierzono przy następujących ciśnieniach roboczych

Typ stałej prędkości:

Typ -7,5 bara: 7 barów

Typ -8,6 bara: 7 barów

Typ -10 barów: 9 barów

Typ VSD:

Typ -8,6 bara: 7 barów

Typ -10,4 bara: 9 barów

(2) Ważony poziom ciśnienia akustycznego emisji klasy A na stanowisku pracy (LpWSAd).

Mierzone zgodnie z normą ISO 2151:2004 (przy użyciu 150 9614/2 (metoda skanowania natężenia dźwięku).

Nowo dodany współczynnik korygujący jest wartością całkowicie niepewną (KpAd), zgodną z kodem testowym.

(3) Waga ma charakter wyłącznie informacyjny; ważniejsza będzie rzeczywista dostarczona waga.

ZR 300-750

Warunki referencyjne wydajności urządzenia zostały zmierzone zgodnie z załącznikiem C, wydanie 4 (2009) normy ISO 1217:

· Wilgotność względna: 0%

· Bezwzględne ciśnienie wlotowe: 1 bar

· Temperatura na wlocie: 20°C Szybkość tłoczenia (FAD) mierzono przy następujących ciśnieniach roboczych:

Typ stałej prędkości:

·  Typ -7,5 bara: 7 barów

· Typ -8,6 bara: 7 barów

· Typ -10 bar: 9 bar

Typ VSD:

· Typ -8,6 bara: 7 barów

· Typ -10,4 bara: 9 barów

· (2) Poziom emisji ciśnienia akustycznego ważonego klasy A na stanowisku pracy (LpWSad). Mierzone zgodnie z normą ISO 2151:2004 (przy użyciu metody skanowania natężenia dźwięku 150 9614/2). Nowo dodany współczynnik korygujący jest wartością całkowicie niepewną (KpAd), zgodną z kodem testowym.

· (3) Waga ma wyłącznie charakter poglądowy; ważniejsza będzie rzeczywista dostarczona waga.

ZR 200X-400X

Warunki referencyjne wydajności urządzenia zostały zmierzone zgodnie z załącznikiem C, wydanie 4 (2009) normy ISO 1217:

· Wilgotność względna: 0%

· Bezwzględne ciśnienie wlotowe: 1 bar

· Temperatura na wlocie: 20°C Szybkość tłoczenia (FAD) mierzono przy następujących ciśnieniach roboczych:

Typ stałej prędkości:

·  Typ -7,5 bara: 7 barów

· Typ -8,6 bara: 7 barów

· Typ -10 bar: 9 bar

Typ VSD:

· Typ -8,6 bara: 7 barów

· Typ -10,4 bara: 9 barów

· (2) Poziom emisji ciśnienia akustycznego ważonego klasy A na stanowisku pracy (LpWSad). Mierzone zgodnie z normą ISO 2151:2004 (przy użyciu metody skanowania natężenia dźwięku 150 9614/2). Nowo dodany współczynnik korygujący jest wartością całkowicie niepewną (KpAd), zgodną z kodem testowym.

· (3) Waga ma wyłącznie charakter poglądowy; ważniejsza będzie rzeczywista dostarczona waga.

Studium przypadku użytkownika laboratorium w pomieszczeniach czystych

Producent elektroniki z Azji zainstalował specjalistyczny system powietrza DECHUAN w celu dostarczania pętli do wytwarzania azotu o wysokiej czystości i pneumatycznych ramion testujących. Wcześniej standardowe sprężarki umożliwiały migrację oparów oleju śladowego przez filtry liniowe, powlekając soczewki litograficzne i powodując mikropęknięcia w powłokach płytek. Po zainstalowaniu bezolejowej sprężarki powietrza dla laboratoriów półprzewodników laboratorium odnotowało zerową liczbę przypadków zanieczyszczenia linii związanych z olejem, co pozwoliło zaoszczędzić znaczne koszty czyszczenia pomieszczeń czystych i ponownej kalibracji w ciągu dwóch lat ciągłej pracy.

Dostosowywanie i kontrola komponentów niestandardowych

• Udoskonalenie materiału ze stali nierdzewnej: Zastępujemy wszystkie standardowe elementy wewnętrzne odlewane wysokiej jakości stalą nierdzewną, aby spełnić rygorystyczne wytyczne dotyczące mikrozanieczyszczeń.

• Zaawansowane protokoły komunikacyjne: Urządzenie jest fabrycznie wyposażone w specjalistyczne protokoły komunikacyjne, umożliwiające centrom kontroli pomieszczeń czystych zdalne monitorowanie parametrów powietrza.

• Kompaktowa konstrukcja: Układ wnętrza zoptymalizowano tak, aby zminimalizować zajmowaną powierzchnię, co ułatwia instalację w ciasnych przestrzeniach użytkowych piwnicy laboratorium.

Często zadawane pytania dotyczące kupujących w przemyśle

P: Czy możemy podłączyć tę sprężarkę bezpośrednio do pętli filtracyjnych o ultrawysokiej czystości (UHP)?

Odp.: Tak, nasza wydajność powietrza jest w pełni kompatybilna z zaawansowanymi osuszaczami adsorpcyjnymi do pomieszczeń czystych i systemami filtracji cząstek submikronowych. Ponieważ surowe powietrze nie zawiera oparów oleju, specjalistyczne filtry w miejscu użycia nie zatykają się mgłą olejową, co wydłuża żywotność filtra.

P: W jaki sposób uszczelki typu Z zapewniają zerową migrację oleju z zespołu przekładni?

Odp.: Bezolejowa sprężarka powietrza do laboratoriów półprzewodników posiada fizyczną przestrzeń wentylacyjną pomiędzy smarowaną olejem obudową przekładni a suchą komorą sprężania. Specjalistyczne bezdotykowe pierścienie węglowe są połączone z kanałami podciśnieniowymi, co zapewnia całkowite zablokowanie przedostania się mgły olejowej do strumienia czystego powietrza.

P: Co się stanie, jeśli wewnętrzny czujnik temperatury wykryje nieprawidłowy odczyt?

Odp.: Kontroler Elektronikon® próbkuje istotne dane wiele razy na sekundę. Jeśli na dowolnym etapie zostanie wykryty skok temperatury, system natychmiast uruchamia automatyczne wyłączenie i zamyka zawory odcinające, zapewniając, że nieschłodzone powietrze nigdy nie przedostanie się do wrażliwego sprzętu laboratoryjnego.